干式真空泵是一种无油、无液体润滑的真空泵。根据不同的工作原理和结构特点，可以将干式真空泵分为以下几种类型：
1. 旋片式干式真空泵：由一对对称布置的旋片和一个离心马达组成。当旋转时，旋片从壳体内部的空腔中吸入气体，并通过离心力推出泵的排气口。旋片的工作面和壳体之间的间隙保持最小，以确保最高的泄漏率。
2. 双级旋片式干式真空泵：由两个级次组成，每个级次都有旋片和离心马达。第一级负责快速减压，而第二级负责进一步降低压力。
3.
螺杆式干式真空泵：利用两个相互啮合的螺杆来产生真空。螺杆之间的间隙足够小，以便在压缩腔中形成真空。当螺杆旋转时，气体从吸气端进入，然后被压缩并排放。
4. 波浪片干式真空泵：利用波浪片的相对运动来产生真空。波浪片之间的轴向空隙和径向间隙非常小，以便实现有效的压缩和排气。
5. 混合式干式真空泵：结合了两种或更多类型的干式真空泵的优点，以提高性能。
这些干式真空泵类型各有优势和适应的应用场景，根据具体需求选择合适的类型和规格的干式真空泵。
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