干式螺杆真空泵的处理效果受到多种因素的影响，以下是一些主要因素：

 

**一、螺杆转子的设计与制造**

1. **型线设计**

   - 螺杆转子的型线直接影响泵的抽气性能。不同的型线会导致不同的密封效果和气体压缩效率。例如，对称型线和非对称型线在密封和压缩过程中有不同的表现。非对称型线可以更好地适应气体的吸入、压缩和排出过程，减少气体泄漏，提高泵的极限真空度。

2. **制造精度**

   - 螺杆转子的制造精度对泵的处理效果至关重要。如果转子的制造精度不够，如螺距误差、齿形误差等，会导致转子之间以及转子与泵腔之间的间隙不均匀。较大的间隙会增加气体泄漏量，降低泵的抽气速率和极限真空度。例如，当螺距误差达到一定程度时，在转子啮合过程中会形成较大的泄漏通道，使原本应该被压缩排出的气体重新泄漏回吸气侧。

 

**二、转速**

1. **对抽气速率的影响**

   - 转速越高，单位时间内螺杆转子对气体的作用次数就越多。在一定范围内，随着转速的增加，干式螺杆真空泵的抽气速率会相应提高。例如，当转速从1500r/min提高到3000r/min时，对于相同的进气口压力和气体种类，泵的抽气速率可能会提高30% - 50%。

2. **对极限真空度的影响**

   - 较高的转速有助于将泵腔内的气体更快地压缩和排出，从而有利于提高极限真空度。但转速过高也可能带来一些问题，如转子的磨损加剧、振动增大等，这些问题可能会反过来影响泵的处理效果。

 

**三、进气压力和温度**

1. **进气压力**

   - 进气压力对干式螺杆真空泵的抽气性能有显著影响。当进气压力较高时，泵的抽气速率相对较大，因为此时气体分子密度较大，转子对气体的推动和压缩作用更容易实现。随着进气压力的降低，抽气速率会逐渐减小，当进气压力接近极限真空压力时，抽气速率会变得非常低。例如，在化工行业中，从常压开始抽气时，泵的抽气速率较快，但当压力降低到10 - 3 Pa量级时，抽气速率会显著下降。

2. **进气温度**

   - 进气温度会影响气体的密度和粘度。较高的进气温度会使气体密度降低，粘度增加。气体密度降低会导致单位体积内的气体分子数减少，从而降低抽气速率。而粘度增加会使气体在泵腔内的流动阻力增大，也不利于抽气过程。例如，在高温环境下对一些有机气体进行抽气时，由于气体温度较高，可能需要更长的时间才能达到相同的真空度要求。

 

**四、密封性能**

1. **轴封**

   - 轴封是防止外部空气进入泵腔和泵内气体泄漏到外部的关键部件。如果轴封的密封效果不好，会有大量的空气泄漏进入泵腔，降低泵的极限真空度。例如，采用普通的机械密封时，在长时间运行后可能会因为密封面的磨损而出现泄漏现象，而采用磁流体密封或干气密封等先进的轴封技术可以提高密封效果。

2. **转子与泵腔之间的密封**

   - 转子与泵腔之间的间隙密封也很重要。除了与转子的制造精度有关外，还与泵腔的加工精度和表面粗糙度有关。如果泵腔表面粗糙度较大，会影响转子与泵腔之间的密封效果，导致气体泄漏增加。

 

**五、气体种类和性质**

1. **可压缩性**

   - 不同气体的可压缩性不同。对于可压缩性较好的气体，如氢气、氦气等，在螺杆真空泵内的压缩过程相对容易，泵的抽气性能较好。而对于一些可压缩性较差的气体，如某些高分子量的有机气体，压缩过程中可能会出现气体分子之间的相互作用增强，导致压缩困难，影响泵的抽气速率和极限真空度。

2. **腐蚀性和化学活性**

   - 如果被抽气体具有腐蚀性或化学活性，可能会对螺杆真空泵的内部部件，如螺杆转子、泵腔等造成腐蚀或化学反应。例如，当抽氯气等强腐蚀性气体时，如果泵的材料没有进行特殊的防腐处理，会导致转子和泵腔表面被腐蚀，影响转子的啮合精度和泵腔的密封性，从而降低泵的处理效果。