干式真空泵抽除可凝性物质存在的一个问题就是:残留的可凝性物质会稀释真空泵油,破坏润滑性物质,引起转子卡死。真空泵只有在安装气镇阀和切断阀的情况下可以用来抽取包括可凝性气体在内的特殊气体,不够为了保证真空泵的抽气性能,在使用它时需要注意以下的几点注意事项:
一、如果真空泵配有球阀气镇阀:
1.请确保气镇阀开启并且在干式真空泵运行中保持开启的状态;
2.关闭进气口处的切断阀;
3.关闭进气管路,使泵大约运转半小时,以达到75°C的工作温度。
二、工艺开始时
打开进气口处的切断阀。
三、工艺结束时
1、关闭进气口处的切断阀;
2、再次使干式真空泵运作至少半小时。
除了上述事项之外,被抽气体的水蒸气含量需要低于上限值,如果高于上限值将会缩短气镇阀的使用寿命。另外就是干式真空泵在使用气镇阀时需要加装滤网,而真空泵抽除气体中的有毒有害物质会残留在滤网之上,所以在清洗滤网时需要穿戴防护设备,以防对身体健康造成伤害。