作为一种抽气范围较宽的捕集式真空泵，低温泵常规工作压力介于10
-1～10
-12Pa之间，是获得清洁超高真空的一种快捷而有效的方法。
低温泵能借助扩大冷冻吸附面获得很大的抽速，在超高、极高真空获得中经常用到，常用的主要如下：
一、冷凝泵。冷凝泵通过低温表面使中性气体分子粘附并失去运动能实现束缚。一定温度下，冷凝泵的吸气能力几乎不受限制，只有在冷凝层增厚使表面温度升高后才会影响吸气性能，因此在超高真空系统中不易饱和，可以实现很大抽速。但对He、Ne、H2等低三相点的气体粘附系数小，需要进一步降低冷面温度。
二、冷冻吸附泵。冷冻吸附泵通过把吸气剂冷冻到低温下，使其吸气量与吸附气体的粘着系数增大，这种形式比冷凝泵利用单独光滑金属面冷冻到同样低温下的吸气效果更好。如果将整个真空容器内壁做成冷冻吸附泵，可以营造成近似空间分子沉环境。
三、深冷霜吸附泵，利用较易凝固的气体冷冻成霜层，利用深冷霜吸气现象进行吸气。
四、催化吸气泵，利用催化反应原理，把参与气体中的氢、氧化成水蒸气后排掉。它需要和溅射离子泵、冷冻泵等组合使用。如排除氢的催化吸气泵由一个冷到液氮温度下的阱和反应器组成：反应器中的高温铼丝和钇丝上的氢会离解成原子态氢，和氧化亚铜表面作用生成水蒸气，水蒸气再由液氮阱捕获。
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