常用的真空泵有哪些类型?

常用的真空泵类型多种多样,根据其工作原理、结构设计和应用场景的不同,可以大致分为以下几类:
 
一、按工作原理分类
 
气体输送泵
 
变容真空泵:通过改变泵腔容积来抽气的泵。
往复式真空泵:通过活塞或膜片的往复运动来改变泵腔容积。
旋片式真空泵:利用旋转的旋片与泵腔之间的间隙来抽取气体,适用于低真空度的场合。
罗茨真空泵:通过两个旋转的转子相互啮合,将气体从进气口输送到排气口,适用于中真空度的场合。
液环式真空泵(如水环泵):利用旋转的液环与泵腔之间的间隙来抽取气体,常用于需要处理腐蚀性气体或含有固体颗粒的场合。
动量传输泵:通过高速旋转的叶轮或转子将气体分子传输到泵外。
分子真空泵:如涡轮分子泵,利用高速旋转的转子使气体分子获得动量并被排出泵外,适用于高真空度和超高真空度的场合。
喷射真空泵:利用高速喷射的流体(液体或气体)来抽取气体,包括液体喷射真空泵、气体喷射真空泵和蒸汽喷射真空泵等。
 
气体捕集泵
 
通过物理或化学方法将气体分子捕集在泵内,从而达到抽气的目的。
吸附泵:利用固体吸附剂对气体的吸附作用来抽气。
吸气剂泵:利用吸气剂(如金属钡、钛等)与气体分子反应,从而将其从泵内去除。
吸气剂离子泵:结合吸气剂和离子泵的工作原理,具有更高的抽气效率和稳定性。
二、按其他分类方式
干式泵:如干式螺杆真空泵、涡旋泵、分子泵等,不需要使用油或水等介质进行密封和冷却,因此不会对环境造成污染。
非干式泵:如旋片泵、扩散泵等,需要使用油或水等介质进行密封和冷却。
按真空度分类:
低真空泵:如旋片泵、涡旋泵等,适用于真空度较低的场合。
高真空泵:如分子泵、扩散泵等,适用于真空度较高的场合。
超高真空泵:如离子泵、钛升华泵等,适用于需要达到极高真空度的场合。
 
综上所述,常用的真空泵类型繁多,每种类型都有其独特的工作原理和应用场景。在选择真空泵时,需要根据具体的需求和条件进行综合考虑。

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