1. **极限真空度**
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干式螺杆真空泵**：能够达到较高的极限真空度，一般可以达到10⁻² - 10⁻³ Pa的范围，这使得它在一些对真空度要求较高的科学研究和高端工业生产领域，如电子束蒸发镀膜、分子束外延等应用中表现出色。
- **油封式旋片真空泵**：极限真空度相对较低，通常在1 - 10 Pa左右，对于一些普通的真空应用，如真空干燥箱等设备中的真空获取是足够的，但难以满足高真空要求的应用。
- **水环真空泵**：极限真空度更低，一般在2000 - 10000 Pa之间，主要用于粗真空的获取，例如在化工生产中的真空过滤、物料输送等对真空度要求不高的环节。
2. **抽气速率**
- **干式螺杆真空泵**：抽气速率较为稳定，并且在较宽的压力范围内都能保持较好的抽气性能。它可以根据不同的型号提供从几立方米每小时到数百立方米每小时的抽气速率，适合于需要持续稳定抽气的工艺过程，如真空熔炼等。
- **油封式旋片真空泵**：抽气速率在低真空阶段相对较快，但随着真空度的提高，抽气速率会逐渐下降。其抽气速率范围一般从几十升每分钟到数立方米每小时，适用于一些小型设备的真空需求。
- **水环真空泵**：抽气速率较大，特别是在粗真空阶段。可以提供从几立方米每小时到上千立方米每小时的抽气速率，常用于需要大抽气流量的工业场合，如大型化工装置中的真空系统。
3. **对被抽气体的适应性**
- **干式螺杆真空泵**：对被抽气体的适应性很强，几乎可以处理所有的气体，包括一些腐蚀性气体、可凝性气体等。因为它没有油或水等介质与被抽气体直接接触，不会发生化学反应。例如，在化工尾气处理中，可以有效地抽取含有酸性或碱性成分的气体。
- **油封式旋片真空泵**：由于内部有润滑油，对于一些与油会发生反应的气体，如氧气等氧化性气体，存在一定的局限性。如果抽取含有大量水蒸气的气体，水蒸气可能会混入油中，影响泵的性能。
- **水环真空泵**：对可凝性气体的处理能力相对较弱，因为可凝性气体在水环中容易凝结，可能会影响泵的正常运行。不过，它对含有固体颗粒的气体有一定的耐受性，只要固体颗粒不会对叶轮造成严重磨损。
